伯东企业（上海）有限公司
主营产品：氦质谱检漏仪、涡轮分子泵、真空阀门、质谱分析仪、干式真空泵
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ASM 310
否
氦质谱检漏仪
| 便携式氦质谱检漏仪 | ASM 310 |
| 对氦气的minimum检测漏率 | 真空模式 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式 1E-8 Pa m3/s |
| 检测模式 | 真空模式和吸枪模式 检漏方法 >> |
| 无油前级泵抽速 | 1.7m3/h |
| 检测气体 | 4He , 3He, H2 |
| 响应时间 | <1s |
| 对氦气的抽气速度 | 1.1 l/s |
| 进气法兰 | DN 25 ISO-KF |
| 进气口max压力 | 15 hPa |
| 通讯接口 | RS-232 |
| 工作温度 | 10-40 °C |
| 噪音水平 | < 45 dB (A) |
| Interface | RS-232, I/O, US B |
| 电压 | 90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用电压 |
| max功耗 | 300 VA |
| 启动时间 | < 2 min |
| 尺寸 | 350 X 254 X 415 mm |
| 重量 | 21 kg |
| 光刻机检漏 半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s. | |
| 杜瓦封装检漏 内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s. | |
| 超高真空系统检漏 超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 为确保较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为确保实验腔体的清洁干燥, 选择前级泵为干泵的氦质谱检漏仪 |
