薄膜电容真空压力变送器

产品简介

薄膜电容压力传感器PPM-T750的测量原理是通过检测电容变化从而得到真空度变化，能够测量出的真空，可以测量0.018Pa～200Pa、1Pa～1kPa、10Pa～10kPa 、100Pa～100kPa 、1kPa～1Pa的真空（）压力，以及0~-100kPa的负压。输出信号可选择0-5VDC或0-10VDC或4-20mA电流信号。接液部分采用抗腐蚀材料，可以测量腐蚀性气体。过程连接可选择快卸法兰，直管插入等几种方式。准确度高达0.25%FS，是实验室研究开发、工艺室、半导体过程工具及设备、各类真空包装真空蒸馏等设备。

产品特点

温度补偿范围宽

EMI抗电磁干扰

长期稳定性好

外型结构小巧紧凑

工作寿命长

产品应用

半导体处理室、半导体晶片的处理、装载腔等

石油化工

生物制药

吸收式制冷机

真空包装

冷冻干燥设备

真空蒸馏

技术参数

尺寸图