广东省东莞市
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CARL ZEISS CONTURA G2 旋转式探头三次元特点 一、机械结构 (a) X、Z 轴皆采用精密陶瓷材质,特性如下: 杨氏系数高,所以刚性强,不易变形,可以保持 X、Z 轴直线度。 低膨胀系数,可以减少热传导产生的结构扭曲,提高量测精度。 重量轻,可降低动态的惯性,增加量测速度,保持三轴直角度。 硬度高,不易扭曲变形,可长久保持 X,Z 直线度,直角度。 (b) 采用 ZEISS 预载式空气轴承,可使龙门与平台间隙永远保持4-6μm,维持高精度量测。 (c) Y 轴采包覆式空气轴承,可降低动态量测惯性,提高三轴直角度。 (d) Z 轴采免调整盒型空气轴承,气源不足时,Z 轴具自动锁定功能。 (e) 气囊式探头重量平衡系统。 (f) 摇控操作盘采双轴同动操控,并具可逆键,操作简便快速。 (g) 采用ZEISS专利光学尺,分辨率 0.2μm 二、的精度 (a)精度是在 CMM 三轴移动速度下获得 (V=520 mm/s) (b) MPE_E=2.2+L/300 μm (c) 精度即使是在远离三轴光学尺远的平台左下方,亦即理论上空间精度差的地方,也能满足所标示的数值。
采用 ZEISS 第四代控制箱,内部具备 :
(a) 取点方式:除三个机械开关外,另有感应晶体,以进行高精度量测。 (b) 探测力量:< 0.01 Nm (c) 可接长延长杆长度:300 mm (d) 可旋转角度:每 2.5° (e) 旋转方向: 水平方向:±180° (f) 使用20 mm探针时,量测重现性< 0.5 μm (g) 角度精度控制 : 光学度盘 (h) 角度精度 : 1 |