SemiCon China2023伯东展位【E3,3369】

伯东企业（上海）有限公司作为德国 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击热流仪, 美国 KRi 离子源, 美国 HVA 高真空闸阀, 等famous进口真空品牌的指定代理商, 参展 SemiCon China 2023 上海半导体展！



上海伯东凭借多年真空经验, 在提供合适的产品同时更为您提供各类真空工艺的解决方案, 协助您优化工艺过程, 提高生产效率! 上海伯东期待您的莅临！

【参展时间】: 2023年6月29-7月1日

【地点】: 上海新guo际博览中心

【伯东展位】: E3号馆, 3369 位置




在现场, 我们为您详解适用于半导体行业的各类产品！


德国 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM 390

专为半导体, 镀膜行业研发

完全符合 Semi S2 标准

大抽速, 干式, 方便移动




德国 Pfeiffer 大抽速涡轮分子泵 HiPace 1200-2800 IT

高抽速, 高气体吞吐量

对工艺沉积的抵抗力强

提供耐腐蚀型号



美国 KRi 大口径射频离子源

3层栅极设计, 栅极口径 38cm

提供离子动能 100-1200eV 宽束离子束, *大离子束流 > 1000mA

满足 300 mm (12英寸)晶圆刻蚀

适用于离子刻蚀, 溅射沉积



美国 inTEST 高低温冲击热流仪 ATS-710E

温度范围 °C: -75至+225 50Hz

防静电设计, 自动除霜

支持 Ethernet, IEEE-488, RS232


美国 Thermonics Process Chillers chao低温冰水机

提供 -80°C 低温冰水机和 -120°C super低温冰水机

用于冷却工艺过程中的气体和液体

适用于半导体前端和后端各类工艺冷却

美国 HVA 超高真空闸阀 11000 系列

口径: DN 16 - 800 mm

极限压力: 高真空 1x10^-9 mbar; 超高真空 1x10^-10 mbar

6寸, 8寸 真空插板阀广泛应用于半导体气体管路中!



美国 Gel-Pak 芯片包装盒

适用于储存和运输半导体精密器件, 光电器件和其他精密器件等



若您需要进一步的了解更多信息, 请联络上海伯东邓女士，分机134