纳米氮化钛（TiN）在液晶面板中的应用

纳米氮化钛（TiN）在液晶面板中的应用

1、前言：

液晶面板由于轻薄，节省空间；省电，不产生高温；低辐射，益健康；画面柔和不伤眼等特点，现已占据绝大部分显示市场，如手机、电脑显示器、液晶电视等，成为我们生活不可或缺的一部分，所以生产稳定性更好，寿命更长的液晶面板是各大厂商共同努力的方向。

2、液晶面板故障及原因：

液晶面板结构复杂，制造技术含量高，故使用过程中经常会出现各种质量问题，如白屏、黑屏、花屏等故障常见，分析其原因主要是像素电极和驱动电路的金属引线接触不良或因电腐蚀断裂等引起。各大面板制造商正积极寻求各种方法解决此类问题。

下面是液晶面板的剖面示意图：

图中红圈处为ITO透明像素电极，当电极端子与金属引线连接时，由于触点位置容易产生局部高温，另外金属触点直接与空气和水汽接触，容易引起电腐蚀和电化学腐蚀，导致线路剥落或断裂，终面板显示白屏、黑屏和花屏等。

3、纳米氮化钛（TiN）用于液晶面板原理：

3.1 纳米TiN性质

3.2 代替导线

纳米氮化钛（TiN）熔点极高，为2950℃，高温化学稳定性强，电阻率为10^-5Ω.cm，接近金属，是液晶面板理想的耐高温导电材料。日本夏普株式会社和精工爱普生株式会社采用在液晶面板的ITO透明像素电极引出端子和金属引线之间真空镀一层TiN薄膜，镀膜中氮浓度为在35atoms/cm2和65atoms/cm2之间，可有效防止金属引线氧化和电腐蚀带来的线路断裂。另外，TiN镀层具有与基底附着力强耐高温等特性，可有效防止剥落现象。

以下为液晶面板俯视示意图：在透明电极引出端子和驱动电路引线之间镀TiN薄膜，防止电路故障。

3.3 代替有机涂层

液晶面板上金属薄膜导线会产生反光，终表现在屏幕上就是杂光，画面不纯净。在液晶面板制造过程中一般使用有机类黑色光阻剂或者黑色油墨等进行覆盖涂布，但这样的涂层不耐高温，易分解、开裂和剥落。现采取在金属薄膜导线上真空镀TiN和SiO2复合镀层，以上问题可得以圆满解决。

下图为薄膜导线真空镀膜示意图：