1、灵活性：因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制，在一个偌大的无尘车间里，可根据需要，分区控制，而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。
2、可再利用性：从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。
3、负压通风：这是FFU的特点，由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于无尘车间负压，这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。
4、缩短建设周期：使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在净化工程中，占很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。
5、减少运行成本：虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能，免维护等特点。用在循环减少40％的运行成本。
