是
百级
99
99mm
99m2
99%
99%
99%
99个/m3
99%
999999
无尘车间标准-分类
a.乱流式(Turbulent Flow):
空气由空调箱经风管与无尘车间内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点:构造简单、系统建造成本低,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘车间等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
b.层流式(Laminar):
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需求较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
(1)无尘车间水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。
(2)无尘车间垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
c.复合式(Mixed Type):
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
(1)无尘车间洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
(2)无尘车间洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
(3)无尘车间并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10M2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
空气洁净度的控制
空气过滤系统包括过滤单元、安装架、外壳、密封垫、密封剂和箱位系统。这些部件的选择应该既符合要求的洁净度等级,又符合与其用途及系统测试要求有关的条件,选择过滤器要采用特定的空气过滤标准,建议采用主要三个空气过滤段:
a) 室外空气预过滤,送到空调设备的空气达到适当的质量
b) 空调设备内的保护终端过滤器的二次过滤器
c) 送风到洁净室之前的终端过滤器
1.二次过滤
应该认识到,如果送风到洁净室的终端过滤器之前不装适当的二次过滤,就会产生如下几个问题:
a) 可能达不到需要的空气洁净度等级
b) 终端过滤器需要频繁的更换,达到不可接受的程度
c) 可能会造成对产品不利的微粒和微生物污染
2.应用
设计人员应该对用于洁净室空调系统得初次和二次过滤器的性能进行评估,确定是否符合应用要求。应该考虑采用化学和分子除污的过滤器(如活性碳),以及配置排风过滤,保护室外环境。
3.节能
为实现节能,在非工作期间可以把通风系统的气流降到低级别。但如果完全关闭,应考虑到可能会产生不可接受的室内污染。
4.临时性过滤器
在施工和试车期间应该考虑安装临时性过滤器,保护空调系统的空气洁净度
5.包装和运输
空气过滤器的包装应该能适当的保护过滤单元在从供应商处搬运和运输期间不受到机械损坏。在设施内安装过滤器前应该认真检查,无任何损坏。
6.装配
过滤器不应急于安装,应在试车前再装配。在等待装配期间,应该按供应商的说明存放过滤器,装配前,风管要做到目检清洁、无污染。过滤器应该按照厂家的说明进行装配。
7.测试
所有安装在设施内的过滤器都应该能够对终端过滤器进行泄露测试,对过滤器和安装装置之间的密封要进行整体性测试。进行这类测试的材料应其本身不会成为污染物或引发污染。