集成磁悬浮涡轮分子泵

TURBOVAC MAGiNTEGRA系列 集成磁悬浮分子泵:

MAGiNTEGRA系列集成磁悬浮分子泵（分子泵，变频器和电源一体），易于与系统集成，操作简单，占用空间小，可靠性高，抽速大，适合大气载应用。

技术特点：

1、任意方向安转

2、DN200/DN250，在ISO-F/ISO-CF高真空接口

3、CE和RoHS认证：满足UL要求

4、两个工业通信模块卡接口

客户得益：

1、抽速和气载量

2、可靠、耐用、免维护

3、适合用于分析、薄膜技术、电子显微镜、科研领域等对振动敏感的应用场合

4、由于采用模块化设计具有灵活性，变频器可以安装在一侧或下面

典型应用：

气体分析系统、粒子加速器、PVD镀膜系统、建筑玻璃镀膜、光学镀膜、液晶显示器、平板显示、科研、分析领域

TURBOVAC / TURBOVAC MAG涡轮分子泵：

欧瑞康莱宝真空提供两个系列涡轮分子真空泵，按转子悬架方式的不同，一类是机械轴承的 TURBOVAC 系列，另一类是磁悬浮轴承的 MAG 系列。

1、TURBOVAC 机械轴承分子泵

2、TURBOVAC i / iX混合轴承

                                                    


3、TURBOVAC MAGiNTEGRA 集成磁悬浮涡轮分子泵 / 集成变频器

                                                        


4、TURBOVAC MAG DIGITAL磁悬浮转子 / 外置变频器