LS841
是
LTCC、AIN、AL203复合基板切割
陶瓷玻璃划片机
材料:陶瓷、玻璃、碳化硅等超硬材料的切割
标准出口包装
(温度25±10℃,湿度不小于65%)
4英寸、6英寸
三相五线制AC 380V±10%,或单相三线制AC 220V±10%,50Hz;
设备特点:
1、采用电脑自动控制系统,工艺全过程直观、全面显示;
2、系统控制全面,抗干扰性强,可靠性高,维修方便;具有故障提示和安全报警功能;
3、标准配置中要求提供一份备用的安装软件,需要时可重新安装,避免因软件损坏或丢失时导致设备无 法及时恢复和正常使用的问题。确保工艺过程的稳定性、产品质量的一致性。人机界面友好,操 作方便;
4、设备运行稳定、可靠。设备集成度高,结构合理紧凑,操作方便;
5、设备运行过程中的功率,温度,气体和液体流量、压力、水温、工艺过程、各部件的动作、故障等全 部数据及其变化的过程均可以电子文档的形式记录在案,方便工艺结束后分析参数并完善工况,实现生 产档案管理;
6、各类阀门、仪表运行、稳定、可靠;
7、有安全显示及系统各部分状态显示模块,可以实时查看系统运行状态和系统当前安全状态;
8、配备维修、维护工具;
9、设置参数保存功能:能够保存出厂参数,方便快速恢复出厂设置
10、设备运行无污染、无噪声、辐射小;可靠性高、操作方便、维护维修简单;
11、设备表面处理均匀、无划痕、无锈蚀、无斑点;颜色搭配合理美观;
12、设备标示、标牌、按钮、把手、接口等符合国内相关标准,规范、可靠、美观,符合相关国 内标准。
1、晶圆片尺寸:可以进行小片、4英寸、6英寸碳化硅、磷化铟晶圆的划片作业;
2、CCD需具有自动对位功能,能够清晰识别出基板的图形信息,能够实现全自动加工的使用要求;
3、可以切割的晶圆片厚度范围至少100~600μm;
4、工作台(X、Y、Z、θ)行程满足晶圆厚度和尺寸的要求;
5、切割质量的要求的下,设备加工速度达到10min/片(6英寸晶圆、chip尺寸1mm*1mm);
6、所有切割参数可以在可视化界面进行设定,且划片作业过程中可以在任意时刻停止作业,对划片参数 进行修正、校准等。自由选择开始和结束的位置;
7、操作系统语言采用英文或者中文;
8、至少可以保存50个划片程序;
9、可以实现操作权限设置,维护、工艺、操作员分级权限;
10、切割刀更换简单方便,设备维护方便;
11、设备使用厂务条件,水、电、气要合理;
12、表面崩边(不包含切割道宽度)能够整体控制在20μm以内,背面崩边(不包含切割道宽度)能够整 体控制在50μm以内;
13、切割道宽度小于60μm。
工作环境(温度25±10℃,湿度不小于65%)、
工作电压三相五线制AC 380V±10%,或单相三线制AC 220V±10%,50Hz;
要求采用多种安全保障措施和安全装置,例如:
1、有系统各部分运行状态监控模块,和安全指示灯;
2、具有电源安全保护装置;
3、温度报警系统;
4、气体、液体流量异常报警;
5、压力异常报警系统;
6、测量、显示与报警功能:实时对水路、气路、压力等全部参数进行检测、显示,异常时及时报警。报 警上下门限可设置;
7、安装有紧急关闭/停止装置,可将系统迅速恢复至安全状态。