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NITTO日东电工DSA840II半自动研磨贴膜保护设备

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价格
面议
  • 最小采购量至少1台
  • 品牌NITTO日东电工
  • 所在地区上海市 上海 松江区
查看联系方式      QQ客服
  • 型号

    DSA840II

  • 加工定制

    是

  • 用途

    半自动研磨贴膜保护设备

  • 别名

    半自动贴膜机

  • 规格

    8寸

  • 机器重量：

    200kg

  • 包装

    标准出口包装

  • 适用晶圆尺寸

    4”、5”、6”、8” 英寸

  • 机器尺寸

    540mm(W) X 910mm(D) X 720mm(H)


一、设备总体描述：
1. 该撕膜机用于减薄或刻蚀工艺后晶圆表面保护胶带的揭除。设备可用于        4”、5”、6”、8”晶圆撕膜。
2.  采用滚轮方式压覆撕膜胶带，利用撕膜胶带黏性去除保护胶带。
3.  设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。
4. 机器尺寸：540mm(W) X 910mm(D) X 720mm(H)
5. 机器重量：200kg   

二、一般技术指标：

适用晶圆尺寸： 4”、5”、6”、8” 
适用晶圆厚度： 200um（150um以下超薄片撕膜为可选项） 
晶圆固定方式： 真空吸附 
工作台加热： 80℃ 
工作台材质： 铝制，表面特氟龙防静电涂层。 
撕膜胶带宽度： 100mm 
废胶带回收功能： 有，自动 
撕膜速度： 50秒/片 
操作面板： 3.8寸触摸屏，工艺参数可编程及存储。 
操作方式： 自动贴撕膜胶带，自动撕膜，自动回收废膜，动作完成报警提示。 
静电控制： 整个撕膜过程设计静电防护，胶膜滚轮等与产品关联的部位采用防静电材料，安装基恩士除静电离子风扇，                      控制机内和撕膜工作过程的静电水平<100V 
安全保护： 设备符合CE 标志 /SEMI S2/S8 安全标准。具有EMO紧急按钮，门未关闭报警，废胶带满载报警功能。 
联系方式
上海瞻驰光电科技有限公司销售部
王晓玉销售助理
15300099033
021-58210030
1207172213
上海市松江区上海市松江区城隆路629弄3号522室

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