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北京晶伏华控电子设备有限公司
主营产品:扩散炉、氧化炉、退火炉、扩散炉炉体、气氛炉
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北京厂家定制真空烤盘炉

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价格
30000.00/台
  • 最小采购量至少1台
  • 品牌JFHK系列或OEM
  • 所在地区北京市 北京 昌平区
  • 加工定制

  • 型号

    JFHK系列或OEM

  • 别名

    烤盘炉、MOCVD烤盘炉

  • 适用范围

    清除 MOCVD 承受器上的氮化镓和氮化铝

  • 炉膛最高温度

    1300℃

  • 工作温度

    600-1300℃

  • 装载量

    定制kg

  • 工作室尺寸

    定制mm

  • 外形尺寸

    定制mm

  • 规格

    定制

  • 外形形式

    单管

  • 最高温度

    1300

  • 清洗气体

    氮气、氢气、氯化氢、氯气可选

  • 是否厂家

    北京厂家

  • 是否定制

    个性化专业定制






一、烤盘炉简介

烤盘炉、真空烤盘炉设备为 LED 制造行业的一种新型真空设备,与 MOCVD 设备配套使用,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2、H3、HCL、CL2可选)。主要用于有效清除 MOCVD 承受器(SiC 涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。


二、烤盘炉用途

北京晶伏华控电子设备有限公司生产的真空烤盘炉主要应用于LED行业MOCVD石墨盘的真空烘烤工艺,设备采用国外工艺,关键部件全部进口,性能可与国外同类设备相媲美。
 
三、烤盘炉主要技术参数(全部参数可定制)
1、外型形式:卧式单管或多管,根据客户需求
2、工作温度:1300℃
3、加热炉管有效口径:Φ340mm
4、石英管有效口径:Φ300mm
5、等温区长度:800mm
6、控温仪表:原装进口日本理化RKC FB400高精度控温仪
7、等温区精度:600℃--1300℃ ±1℃/800mm  
8、单点温度稳定性:600℃--1300℃ ±1℃
9、升温斜变能力:可控升温速度:15℃/min
10、升温功率:34KW/管
11、保温功率:17KW/管
12、气路系统:每管氮气、氯化氢或氢气 ,带混气罐
13、流量计:MFC+浮子流量计
14、气路管件:进口原装,长期使用不生锈
15、气路系统气密性:1×10-10 Pa·M3/S
16、控制系统:RKC高精度控制器+PLC+触摸屏方式,自动控制整个工艺流程

17、电源:三相五线380V、50Hz


北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求定制:真空炉、烤盘炉MOCVD烤盘炉控制系统、扩散炉、退火炉、烧结炉、光亮炉、交换炉、焊接炉、氧化炉、气氛炉、升华炉、氢气炉、气氛炉、快速退火炉、LPCVD等各种工业、实验用热处理设备,厂家供货,团队定制,欢迎广大客户来电来函洽谈业务。

联系方式
北京晶伏华控电子设备有限公司
刘经理经理
18310083901
010-52868224
401744361
北京市昌平区富康路18号
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