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北京维意真空技术应用有限责任公司

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磁控溅射镀膜机靶枪

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磁控溅射镀膜机靶枪

价  格:面议

品  牌:维意真空

所 在 地:北京市 北京 大兴区

应用领域:实验室研究磁控溅射 

产品卖点:磁铁与冷却水分离技术,高磁靶,可定做

*** 技术参数:
1、多种口径的圆形平面靶枪,尺寸1"2" 60mm 3"靶,以及矩形靶枪可供选择;
2、安装法兰口径:NW63CF,NW100CF或定制尺寸;
3、真空腔体内长度范围:150-400mm
4、真空腔体内端面直径:60-96
5、靶材直径: 1"2" 60mm3"
6、靶材最大厚度:4-6mm
7、冷却:水冷

*** 特点:
1、可以做直流和射频溅射

2、可以溅射磁性及非磁性材料

3、模块化磁场排布

4、冷却水和磁铁不直接接触

5、100%超高真空(UHV)应用

水冷时不会存在水汽

8、工作压力范围宽(0.5-1Torr)。

9、有较高的溅射速率和沉积均匀性。

10、高强度磁体应用于磁性材料

 

*** 可选部件

1、+/- 45°倾斜装置。

2、原位倾斜装置。

3、集成在靶上的气环。

4、圆锥形靶罩,用于非轴向溅射。

5、超高真空Z轴手动移动和气动挡板。

6、复合法兰。

7、其它特殊要求。


*** 应用领域:
1、PVD沉积
2、金属涂层
3、纳米结构薄膜
4、多层镀层
5、反应溅射
6、射频溅射,直流溅射,脉冲直流溅射

7、硬质涂层


  • 加工定制
  • 电镀位置
  • 其他
  • 镀种
  • 真空镀膜
  • 型号
  • wayes-ckjs
  • 品牌1d
  • 维意真空
  • 产地1d
  • 大兴区

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手机:15611171559

(联系我时,请说在网络114看到的,谢谢!)

地址:北京市大兴区旧桥路25号院3-1203

 

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诚信:A+ 资信参考:  
  • 企业性质:生产商
  • 企业主营:ALD设备 PECVD设备 磁控溅射镀膜机 
  • 年 产 值:人民币 200万-500万元
  • 员工人数:11-50人
  • 联系方式:于先生查看联系方式
  • 企业地址:北京市大兴区旧桥路25号院3-1203