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青岛晨立电子有限公司
主营产品:扩散炉、炉体、链式炉、真空炉、烧结炉
咨询电话:
13869885308
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科研设备 科研仪器设备 科研加热设备 晨立设计定制

科研设备 科研仪器设备 科研加热设备 晨立设计定制
  • 科研设备 科研仪器设备 科研加热设备 晨立设计定制
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价格
60000.00/台
  • 最小采购量至少1台
  • 品牌晨立
  • 所在地区山东省 青岛市 即墨市
  • 型号

    CL

  • 加工定制

  • 用途

    扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺

  • 别名

    扩散炉

  • 规格

    CL-4514-1

  • 使用温度

    1200℃

  • 电压

    380

  • 电流

    24

  • 适用行业

    工业



科研炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。



主要技术参数:
◆工艺管数量:1-4管
◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)
◆工作温度范围:400~1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)

◆结构型式:卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1%F.S
◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)噪音:≤62dB(A)震动:≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式: 工业微机控制




联系方式
青岛晨立电子有限公司
姜经理销售
13869885308
0532-88533525
山东省青岛市即墨市马山东路陈家河工业园
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