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青岛扩散炉--高温卧式扩散炉--管式扩散炉

  • 青岛扩散炉--高温卧式扩散炉--管式扩散炉

青岛扩散炉--高温卧式扩散炉--管式扩散炉

起批量(台)

价格

≥ 1台

¥168000元/台

≥ 5台

¥158000元/台

品  牌:晨立

所 在 地:山东 青岛市 即墨市

应用领域:电子行业,热处理行业,高温处理行业 

产品卖点:厂家专业定做,使用寿命更优

最小采购量:至少1台

 

一、扩散炉简介
扩散炉是半导体加工中的典型热处理设备,用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。

二、扩散炉特点

◆软着陆载片装置

  软着陆送料装置,避免了SiC桨的遮挡影响,提高了扩散均匀性,同时桨的清洗周期大幅度延长。

◆高精度温度控制

  新型炉体设计,提高了温度稳定性;配合高精度温控仪的使用,保证工艺过程中温度的快速稳定。

◆高性能进口元器件组合

  关键件采用进口管件,且为半导体级别;优质的元器件组合,从而保证成膜质量。          

三、主要技术参数

◆工艺管数量:1-4管

◆工艺管口径:Φ90-360mm(3~12英寸)

◆结构型式:卧式热壁型、立式或其他形式,可根据客户需求定制

◆工作温度范围:400~1280℃

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5%(30~60欧姆)

◆气体流量设定精度:±1%F.S

◆气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s

◆超净工作台:净化等级:100级(万级厂房)

              噪音:≤62dB(A)

              震动:≤3μm

◆控制方式: 工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

青岛晨立电子有限公司可根据客户需求定制各种非标:扩散炉、高温扩散炉、程控扩散炉、微控扩散炉、太阳能扩散炉、立式扩散炉、单管扩散炉、双管扩散炉、三管扩散炉、扩散炉控制系统、氧化扩散炉、焊接炉、真空炉、隧道炉、氧化炉、退火炉、LPCVD炉、氢气炉、工业炉体等各种工业、实验电炉等高温热处理设备。专业团队为您的产品工艺量身定做,厂家直接供货,欢迎广大新老客户来电来函。

  • 型号
  • CL系列
  • 加工定制
  • 用途
  • 扩散、氧化
  • 规格
  • CL-4514
  • 设备尺寸
  • 可定做
  • 工作温度
  • 200-1300
  • 载量
  • 可定做
  • 使用行业
  • 半导体行业
  • 品牌1d
  • 晨立
  • 产地1d
  • 即墨市

青岛晨立电子有限公司

手机:13869885308

固话:0532-80632681

传真:0532-88533525

(联系我时,请说在网络114看到的,谢谢!)

地址:山东省青岛市即墨市华山二路327号

 

 

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相关产品信息
青岛晨立电子有限公司
诚信:
  • 企业性质:生产商
  • 企业主营:扩散炉 炉体 链式炉 
  • 年 产 值:人民币 500万-700万元
  • 员工人数:51-100人
  • 联系方式:姜先生查看联系方式
  • 企业地址:山东省青岛市即墨市华山二路327号

       

       

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