DSN-S型
是
130*28*121mm
±1%
质量流量计
0.05~0.3MPa
3,10MPa
特性:DSN-S型质量流量计/流量控制器(MFC/MFM)适用于气体和液体, 本产品采用“激光分选”工艺制作的微型传感器,耐腐蚀防护层,使得MFC具有更优越的性能优势:
1. 高精密度控制,可靠的稳定性和重复性。
2. 高速响应 < 0.5秒(通常< 100ms)。
3. 长寿命(正常使用可达十年以上)。
4. 微小尺寸,消除了“传感器”本身热效应对层流的破坏,“零点漂移”小于1%。
5. 堵塞。
6. 利用自身的性能可自行清除工作过程中的表面污物(注: 此项操作须在生产厂家进行)。
7. 适应于一切气体和液体(包括腐蚀性气、液体)。
8. 一体化设计,优越的抗电磁干扰性能。
DSN-S型气体质量流量计/质量流量控制器 标准量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM; 0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM; 准精度:±1%F.S; 重复精度:±0.2%F.S 响应时间:电特性 <10sec 气特性<1~4sec 线性:±(0.5~1)%F.S 工作压差范围:0.05~0.3MPa 耐压:3,10MPa; 工作环境温度:5~45℃ 输入输出信号电压:0~+5.00V 电源:+15V500mA、-15V500mA(输入阻抗大于100K,输出电流不大于3mA) 电连接器:D14pin 外形尺寸:130*28*121mm 重量:约1.0kg 接口尺寸:Swagelok :Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞.... VCR接头:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........ DSN系列气体质量流量控制器, 即称Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。