一、管式气氛炉简介 管式气氛炉、高温管式气氛炉为我公司根据客户需求定制的真空气氛热处理设备，主要用于氮化硅镀膜、陶瓷电容器（MLCC）气氛烧结及退火等工艺。本设备具有：关键部件进口、自动化程度高、温度均匀、控制稳定等特点，是理想的科研及生产设备。
二、管式气氛炉技术指标 1、外型形式：单管卧式，可根据客户需求定制
2、加热器形式：固定式加热器（产品随炉升、降温）
3、加热元件：硅钼棒
4、工艺管材质：高纯AL2O3
5、工作温度：1600℃
6、持续工作温度：1500℃
7、升温速度：1-15℃/min
8、控温精度：±1℃
9、炉管尺寸：Φ100*1200mm
10、加热区尺寸：600mm
11、恒温区长度：300mm
12、***大加热功率10KW，保温功率5KW
13、反射板：产品与炉口之间有数层反射板，以减少高温对炉口的热辐射。反射板采用高纯AL2O3制作，结构为可方便拆卸结构。
14、气路：N2、H2、NH3
15、极限真空度：1.0*10-1Pa
16、***大充气正压：30KPa
17、真空计：采用数字式压力传感器
18、温控系统：日本岛电32段可编程温控仪
19、控制方式：调功调压
20、密封系统冷却方式：水冷
21、操作方式：手、自动两种操作方式
22、报警及保护：系统设有超温报警及保护、断偶报警及保护、真空系统阀门互锁保护、缺水报警及保护
23、供电电源：AC380V±10%、50Hz
24、总功率：10KW、三相五线制
北京晶伏华控电子设备有限公司可根据客户需求化定制各种：
气氛炉、管式气氛炉、真空气氛炉、热处理气氛炉、气氛保护箱式炉、热处理气氛炉、箱式气氛炉、保护气氛炉、高温气氛炉、气氛保护炉、加热气氛炉等各种真空气氛保护热处理设备，欢迎广大客户来电来函。
