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主营产品：表面处理产品、等离子设备、可调式清洗机制造
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太阳能电池等离子刻蚀机

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价格
面议
  • 品牌戈德尔-Guarder
  • 所在地区山东省 烟台市 招远市
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  • 加工定制

    是

  • 规格

    1350(W)×800(D)×1750(

  • 类别

    其他

  • 显示器

    LED显示屏

产品特点 

   用于太阳能电池硅片边缘刻蚀制程，采用的高密度等离子(ICP)，刻蚀速率高，全进口配置组装。
>> 技术参数

 ◆ 外形尺寸(不包括报警灯)  

1350(W)×800(D)×1750(H)mm

 ◆ 仓体结构(铝，约125升)

500(W)×500(D)×500(H)mm

 ◆ 旋转平台

Φ 400mm ，转速可调节

 ◆ 等离子发生器(美国)

频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作

 ◆ 控制系统

触摸电脑+PLC全自动控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件，性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式

 ◆ 真空系统(真空压力PID闭环自动控制)

前级泵/ 英国爱德华爪式干泵 GV80

二级泵/ 英国爱德华罗茨泵  EH250(70L/S)  

美国MKS真空压力控制节流阀及薄膜式传感器      

台湾气动真空角阀、充气阀、DN63不锈钢真空波纹管 

 ◆ 充气系统

美国MKS高精度电子质量流量计(四路气体配制)

美国世伟洛克气体管路及接口组件，德国双级减压阀

日本SMC及CKD高真空气阀组件

联系方式
烟台金鹰科技有限公司
刘晓玲销售部 网络推广员
13573547231
0535-8236617
1103449804
山东省烟台市招远市经济技术开发区招金路518号

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