北京晶伏华控电子设备有限公司
主营产品:扩散炉、氧化炉、退火炉、扩散炉炉体、气氛炉
300-1300
1300
炉体
JFHK
详细介绍:
北京晶伏华控电子设备有限公司生产的扩散炉炉体主要用做半导体、功率器件、集成电路等行业中罐式热壁系统的加热装置。分为卧式、立式两种。可与美国TEMPRESS、THERMCO,荷兰ASM,英国BTU,日本TEL等国外多种型号扩散炉配套(替代进口),采用国外加工工艺,选用进口材料,可处理2~8英寸硅片的扩散工作。
炉体材料:
◆加热丝:Φ8~10mm康泰尔/吉泰安高温电热合金丝。
◆绝缘子:采用99瓷制作,尺寸标准
◆保温棉:英国摩根生产的高温保温材料
◆外壳:304不锈钢板
◆把口环:陶瓷纤维磨具成型,既保温,又有一定机械强度
炉体参数:
◆工作温度:≤1300℃
◆恒温区长度:500mm~1080mm
◆炉体内径:2~8英寸