GGDR-200PR
是
用于低污染及高洁净材料表面清洗、刻蚀
等离子刻蚀机
220V
850(W)×1000(D)×1850(H)mm
GDR
触摸电脑7寸
多步法全自动控制
PID闭环自动稳压控制
220
550(W)×700(D)×530(H)mm
530(W)×560(D)mm ,13层
频率13.56MHZ,功率0-1250W连续调节,自动阻抗匹配,全电路保护,可连续长时间工作
PLC触摸屏控制,采用欧姆龙、西门子等世界品牌电器元件,性能稳定可靠,并具有手动、自动两种模式
日本爱发科(ULVAC)机械真空泵 VDN601 (17L/S) (前级泵可选配爱德华干泵)
英国爱德华罗茨泵 EH250(70L/S)
台湾气动真空角阀、充气阀、DN40不锈钢真空波纹管、德国英福康高精度真空计、传感器
美国AE高精度电子质量流量计(两路气体配制)、针阀
美国世伟洛克气体管路及接口组件,德国双级减压阀
日本SMC及CKD高真空气阀组件
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